作者：胡大伟

学位名称：硕士

出处：北京理工大学

作者：周泓伯

学位名称：硕士

出处：北京理工大学

作者：李昂，李艳秋，韦鹏志，袁淼，王成成 （北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室）

出处：光学学报 2022

关键词：测量；极紫外光刻；光刻成像理论；像差测量；成像测量技术；偏振像差

摘要：提出了一种严格的非线性成像测量大数值孔径（NA=0.55）变倍率极紫外光刻（EUVL）投影物镜偏振像差的方法。首先在变倍率极紫外（EUV）严格矢量成像模型基础上，通过建立偏振像差与空间像频谱的非线性关系，得到非线性超定方程组，并提出一种同步旋转测量的方法，通过构建和训练深度神经网络算法求解严格非线性 ...

作者：秦鹏，刘克，钟慧，李艳秋，张孝天，何飞 （北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室）

出处：光学学报 2022

关键词：传感器；标量衍射理论；装调技术；斜率和曲率；波前重构

摘要：四孔振幅调制波前传感器（FHAM-WS）在夏克-哈特曼传感器（SHS）的各个子孔径内引入振幅调制，实现了子孔径内波前斜率和曲率的测量。FHAM-WS的精密装调对于实现高精度的波前传感至关重要。利用标量衍射理论分析了FHAM-WS中的微透镜阵列装调误差在各个子孔径内引入的波前斜率和曲率测量误差。以该误 ...

发明人：刘克，何飞，李艳秋，秦鹏，钟慧，张孝天

申请日期：2022.08.03

摘要：本发明公开了一种基于夏克‑哈特曼波前传感器的波前斜率和曲率信号的提取方法。本发明方法在传统夏克‑哈特曼波前传感器未加任何调制器件的基础上利用傅里叶解调技术和有限差分法比较精确的获得入射波前斜率和曲率信息。与传统的夏克‑哈特曼波前传感器利用空域质心探测算法仅仅得到波前斜率信息相比，本发明在频域中同时得 ...

作者：秦鹏，刘克，钟慧，李艳秋，张孝天，何飞 （北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室）

出处：Acta Optica Sinica 2022

关键词：传感器；标量衍射理论；装调技术；斜率和曲率；波前重构

摘要：四孔振幅调制波前传感器（FHAM-WS）在夏克-哈特曼传感器（SHS）的各个子孔径内引入振幅调制，实现了子孔径内波前斜率和曲率的测量。FHAM-WS的精密装调对于实现高精度的波前传感至关重要。利用标量衍射理论分析了FHAM-WS中的微透镜阵列装调误差在各个子孔径内引入的波前斜率和曲率测量误差。以该误 ...

作者：李昂，李艳秋，韦鹏志，袁淼，王成成 （北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室）

出处：Acta Optica Sinica 2022

关键词：测量；极紫外光刻；光刻成像理论；像差测量；成像测量技术；偏振像差

摘要：提出了一种严格的非线性成像测量大数值孔径（NA=0.55）变倍率极紫外光刻（EUVL）投影物镜偏振像差的方法。首先在变倍率极紫外（EUV）严格矢量成像模型基础上，通过建立偏振像差与空间像频谱的非线性关系，得到非线性超定方程组，并提出一种同步旋转测量的方法，通过构建和训练深度神经网络算法求解严格非线性 ...

发明人：LI, Yanqiu;LIU, Yan;CAO, Zhen

申请日期：2017.03.09

摘要：A method for designing an imaging objective system of a combined magnification. The specific process is: step 1, designing a fully spherical imaging o ...

作者：Wang, Wen\'ai^{1, 2};Ma, Ziyu³;Li, Jiabei¹;Liu, Aijun³;Li, Yanqiu^{1, 2};Wang, Jiazhi¹;Zhou, Guodong¹;Li, Yuanhe¹; （¹Key Laboratory of Photoelectronic Imaging Technology and System, Ministry of Education, School of Optics and Photonics, Beijing Institute of Technology, Beijing; 100081, China;²Institute of Engineering Medicine, Beijing Institute of Technology, Beijing; 100081, China;³Pathology Department, The 7th Medical Center, Chinese People\'s Liberation Army General Hospital, Beijing; 100700, China）

出处：Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica 2022

关键词：UTERINE CERVIX;DECOMPOSITION;IMAGES

摘要：Reliability is an important index to assess the validity of an optical instrument, which is directly related to the practicability of the equipment. T ...

作者：钟慧，李艳秋，刘克，王嘉智，李员赫，吴劲贤 （北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室）

出处：光学学报 2023

关键词：测量；偏振；Mueller矩阵；相位测量；折射率；定量

摘要：Mueller矩阵因可以定量地提供组织样品的完整偏振信息，已被广泛地应用于癌症的病理诊断中。现有的Mueller成像偏振检测仪器丢失了样品的绝对相位信息，而相对的相位信息不能反映待测相位的变化规律，故需要开发嵌入式偏振光波前绝对相位检测仪器。搭建了一款嵌入式相位传感的Stokes-Mueller偏振 ...