作者： 全旭松 （导师：金鑫）

学位名称： 硕士

出处： 北京理工大学机械与车辆学院 2015

关键词： SU-8胶；整平技术；飞刀铣削；动态特性；准LIGA工艺

摘要： LIGA和准LIGA加工工艺因其具有高深宽比、加工精度高等特点而被广泛应用于非硅MEMS器件加工中。SU-8胶是准LIGA工艺中常用胶，其表面的平整度直接影响其光刻精度。大尺寸（4吋）SU-8厚胶（简称：厚胶）因其流动性较差，导致涂胶后表面平整度差，很难满足准LIGA光刻要求，并且目前关于厚胶整平设 ...

作者： 程旭 （导师：金鑫）

学位名称： 硕士

出处： 北京理工大学机械与车辆学院 2014

关键词： 非硅MEMS器件；批量；快速检测；机器视觉；精度分析

摘要： 随着微小型制造技术的快速发展，非硅MEMS器件已广泛应用于航空航天、国防工业、微电子工业、现代医学以及生物工程等各种军用和民用设施中。随着LIGA技术的深入研究，已经逐步实现了批量化生产非硅MEMS器件。但是，现有的基于机器视觉的检测系统无法满足批量非硅MEMS器件快速检测的需求，原因是这类系统通过 ...

作者： 王辉 （导师：金鑫）

学位名称： 硕士

出处： 北京理工大学 2011

关键词： 精密制导部件；制造特性；参数化建模；Pro/TOOLKIT二次开发；人机交互界面；ANSYS批处理

作者： 王成林，张之敬，金鑫 （北京物资学院流学院；北京理工大学机械与车辆工程学院）

出处： 通用机械 2007 第11期 P65-68

作者： 赵曾武 （导师：金鑫）

学位名称： 硕士

出处： 北京理工大学

作者： 张喜 （导师：金鑫）

学位名称： 硕士

出处： 北京理工大学

作者： 石存磊 （导师：金鑫）

学位名称： 硕士

出处： 北京理工大学

作者： 马兆利 （导师：金鑫）

学位名称： 硕士

出处： 北京理工大学