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赵维谦

光电学院

职称:教授

赵维谦所有成果
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作者:邱丽荣,李佳,赵维谦,杨佳苗 (北京理工大学光电学院)

出处:光学精密工程 2013

关键词:共焦透镜  曲率半径测量  非接触测量  激光干涉仪

摘要:基于共焦技术独特的轴向层析定焦能力并结合气浮导轨平移台和激光干涉仪测长系统,研制了一套高精度、非接触激光共焦透镜曲率半径测量系统。该系统利用共焦轴向光强响应曲线的峰值点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,使用峰值点对被测透镜的猫眼位置及共焦位置进行精确定位,并结合激光干涉仪获得透镜猫眼位置及共焦位置坐标值 ...

被引情况: CNKI被引 13 次; 维普被引 2 次;

作者:刘大礼,王允,邱丽荣,赵维谦 (北京理工大学光电学院)

出处:中国激光 2014

关键词:测量  边缘检测与定位  差动共焦显微术  过零触发  微结构检测

摘要:为了实现高效、准确的检测和定位微结构如光刻掩模版的边缘轮廓,提出了一种差动共焦显微(DCM)边缘轮廓检测方法,并对该方法进行了原理仿真分析和实验验证。该方法具有在焦点的过零阶跃触发特性。利用该特性,该方法可以实时得到样品二值化边缘轮廓图像,极大地提高了边缘轮廓检测效率。理论分析和仿真表明,该方法边缘 ...

被引情况: CNKI被引 3 次;

作者:赵维谦,沈阳,邱丽荣,杨佳苗 (北京理工大学光电学院)

出处:激光与光电子学进展 2015

关键词:测量  激光共焦  层析定焦  透镜组

摘要:镜组内各透镜间的轴向间隙是光学系统装配中的一个重要参数。为精确测量镜组内各透镜间的轴向间隙,提出了一种激光共焦镜组间隙测量方法。该方法利用共焦光强响应曲线的峰值点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,使用环形激光共焦层析定焦技术对装配后镜组内各透镜表面的顶点位置进行高精度定位,并结合光学追迹方法精确计算各个 ...

作者:薛景锋,彭军,李新良,赵维谦 (北京理工大学光电学院;北京长城计量测试技术研究所光纤传感技术中心)

出处:航空学报 2015

关键词:角振动  校准  角振动台  激光干涉  陀螺  角加速度计

摘要:为提升对惯性器件的动态性能评价能力,通过对被校传感器施加标准正弦角振动激励,精确测量角振动过程,实现了对角振动传感器的校准。基于不同频段的特点,将校准频段划分为低频和高频2部分,并提出空气轴承与无刷直流力矩电机相结合的低频角振动台方案,以及轻质空心杯精密空气轴承与框式电磁驱动结构相结合的高频角振动台 ...

被引情况: CNKI被引 1 次;

作者:赵维谦,唐芳,邱丽荣,刘大礼 (北京理工大学光电成像技术与系统重点实验室)

出处:物理学报 2013

关键词:差动共焦显微技术  紧聚焦  光瞳滤波  轴对称矢量光束

摘要:轴对称矢量光束是一种空间非均匀偏振光束,中心光强为零,经物镜聚焦后能在焦点附近产生空间场分量.在高变迹系数光学系统成像情况下,与线偏光、圆偏光相比,径向偏振光与光瞳滤波技术及图像复原技术结合,能获得较小焦斑,提高横向分辨力.介绍了轴对称矢量光束的特性,基于电偶极子辐射模型和矢量衍射理论研究了轴对称矢 ...

被引情况: CNKI被引 9 次; 维普被引 1 次;

作者:李飞,李林,洪宝玉,赵维谦 (北京理工大学;中国计量科学研究院;北京理工大学;中国计量科学研究院)

出处:计量学报 2014

关键词:计量学  激光差动共焦定焦  后顶焦度  定焦误差  校准

摘要:为满足后顶焦度高精度测量需求,提出了一种基于激光差动共焦技术的后顶焦度测量方法,研制了一套测量系统.该系统将激光差动共焦技术的精密定焦性能应用于后顶焦度测量,显著地提高了定焦定位能力,利用干涉测长技术测量相应偏离距离,最终实现后顶焦度的精密测量.分析了测量装置的设计思路和测量精度的影响因素.理论分析 ...

被引情况: 维普被引 1 次;

作者:Weiqian Zhao,Hongwei Jiang,J.Yang,Y.Guo,Y.Xiao (Beijing Institute of Technology(China))

出处:2014年光子与光学工程国际会议暨西部光子学学术会议 2014

摘要:A high precision radius automatic measurement method using laser differential confocal technology is proposed.Based on the property of an axial intens ...

作者:孙若端,邱丽荣,杨佳苗,赵维谦 (北京理工大学光学测量研究中心)

出处:仪器仪表学报 2011

关键词:差动共焦  曲率半径  定焦

摘要:针对国内高精度曲率半径计量需求,研制一套激光差动共焦曲率半径测量系统。该系统采用差动共焦定焦技术,利用轴向光强响应曲线的过零点精确对应物镜聚焦焦点这一特性,借助过零点对被测件的猫眼和共焦位置进行精密瞄准定位,通过干涉测长技术获取两点间的距离,继而实现曲率半径的高精度测量。该测量系统的机电控制由主控软 ...

被引情况: CNKI被引 11 次; 维普被引 1 次; 万方被引 1 次

作者:季林,侯茂盛,邱丽荣,马飞,赵维谦 (北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室)

出处:光学技术 2015

关键词:光学测量  快速精密定位  双频激光干涉  空气静压导轨  PID控制  定位精度

摘要:为了实现大量程、高精度测量系统的快速驱动与定位,结合双频激光干涉仪、可回收废气的空气静压导轨、精密滚珠丝杆以及伺服控制系统,研制了一套定位精度高、重复性好的快速精密定位系统。该系统以双频激光干涉仪为测长基准,实时反馈系统工作台位置信息;采用余气回收式空气静压导轨克服了传统气浮导轨余气对激光干涉测量光 ...

被引情况: CNKI被引 1 次;

作者:李佳,邱丽荣,杨佳苗,刘大礼,赵维谦 (北京理工大学光电学院  北京  (100081))

出处:光学技术 2013

关键词:共焦  元件参数  高斯滤波  定焦

摘要:为进一步提高共焦元件参数测量系统的定焦精度,提出了运用高斯滤波算法对由共焦系统采集的光斑图像和共焦轴向强度响应信号进行滤波处理,以降低系统光学噪声对测量光斑图像的影响,削弱外界环境扰动等因素对共焦轴向强度响应信号的干扰。经理论分析和实验验证,在对测量光斑图像和共焦轴向强度响应信号进行高斯滤波算法处理 ...

被引情况: CNKI被引 3 次;