作者：任利利

学位名称：硕士

出处：北京理工大学光电学院 2016

关键词：共焦显微；光束扫描；控制设计

摘要：近年来，随着科学技术的不断发展和进步，物理学、生物医学、微电子学、材料学和基因工程等都取得了长足的进步。这些领域对于光学成像系统的要求也越来越高。而以共焦技术为核心的光学探测成像技术，以其高精度的优势成为探测成像领域的主要方法之一。由于共焦技术具有消除杂散光影响、高分辨率等一系列优点，激光共焦显微技 ...

作者：刘大礼

学位名称：博士

出处：北京理工大学 2015

关键词：共焦显微术；抗反射实时差动共焦显微三维成像理论；样品反射率抑制；噪声抑制；轴向分辨力；横向分辨力；实时高度轮廓成像；高度轮廓层析成像

摘要：共焦显微术因其具有独特的光学层析能力和卓越的横向分辨力而在微机电、工业精密检测、生物医学和材料工程等领域的基础理论研究和工业应用中有着极其重要的作用。但是现有共焦显微镜存在如下缺点：（1）采用焦点逐层扫描方式，成像效率低；（2）利用轴向响应曲线响应灵敏度最低的峰值探测焦点，轴向分辨力低；（3）易受环 ...

作者：侯茂盛

学位名称：博士

出处：北京理工大学光电学院 2015

关键词：大口径非球面；单转位误差分离；轴向空间回转误差；调心调倾；激光差动共焦；过零触发；表面形状测量

摘要：针对目前大口径非球面元件的测量精度受限于仪器回转基准的空间回转运动误差，尤其是受限于轴向跳动等轴向回转运动误差的技术瓶颈，以及现有非球面元件的测量方法更无法兼顾高精度、大测量口径及非接触测量的技术现状，将单转位轴向空间回转运动误差的实时分离方法应用于大口径非球面测量中，同时又将光学非接触的差动共焦显 ...

作者：刘佳琪

学位名称：硕士

出处：北京理工大学光电学院 2015

关键词：精密定位；直线导轨；光栅；超声电机

摘要：随着当今科学技术发展进程,在微观领域中关于光电子、微机电、生物工程、纳米材料等的研究越来越深入,对定位精度的要求现已进入微纳米时代。精密定位技术广泛应用于精密仪器、机械和机床、IC工艺制造、计算机外围设备等,它的特点是精度和分辨率较高,尺寸从小到大,品种繁多。精密定位系统大多有自动化操作的要求,需要 ...

作者：蒋鸿伟

学位名称：硕士

出处：北京理工大学光电学院 2015

关键词：差动共焦；曲率半径；高精度；自动重复测量；软件系统

摘要：曲率半径是球面元件的基本参数，随着高精度球面元件广泛应用于高精度计量和精密机械加工领域，如光刻机物镜、激光核聚变等高性能光学系统，研究具有高精度、强抗干扰能力的高精度曲率半径测量方法具有重要的研究意义和应用价值。曲率半径的非接触高精度测量主要采用干涉定焦曲率半径测量系统，其中最具代表性是美国Zygo ...

作者：杨佳苗

学位名称：博士

出处：北京理工大学光电学院 2015

关键词：差动共焦；移相干涉；面形；曲率半径；波前畸变；焦距；不确定度评定

摘要：球面元件由于其优异的加工性能,在激光核聚变系统、极紫外光刻机、新一代球形惯性仪表等高端系统中仍被广泛应用。但球面元件的检测精度已成为提高球面元件加工精度与质量的技术瓶颈。因此,研究如何改善球面元件测量精度的方法与技术对于提高球面元件制造精度以及激光核聚变系统、极紫外光刻机、新一代球形惯性仪表等高端系 ...

作者：毛新越

学位名称：硕士

出处：北京理工大学光电学院 2015

关键词：差动共焦；显微镜；软件系统；扫描控制

摘要：近年来，我国在材料工程、生物医学工程、基因工程、微电子制造和精密测量等领域上都取得了长足的进步。随着科学技术的发展和进步，高精度、高分辨率的光学成像系统已对上述领域产生了重大的影响。以激光差动共焦技术为核心的光学扫描成像探测技术，因其高精度成像优势成为光学成像探测领域的主要方法之一。由于激光差动共焦 ...

作者：沈阳

学位名称：硕士

出处：北京理工大学光电学院 2015

关键词：共焦层析定焦；透镜轴向间隙；光线追迹

摘要：在深紫外光刻机、高精度显微镜以及卫星相机等光学系统中，性能优异的镜头得到了广泛的应用。透镜之间的轴向间隙是镜头的一个重要参数，在镜头装配过程中任何细小的装配误差都会改变镜头的设计参数，给镜头引入像差，降低它的成像质量。因此实际装配过程需要对透镜间隙进行精确测量和严格控制\'(1)\'。研究具有高精度 ...

作者：薛景锋

学位名称：博士

出处：北京理工大学 2014

关键词：角振动；激光干涉；绝对法；角速度；角位移；陀螺；角加速度计

摘要：随着导航与制导技术的快速发展，对高频响惯性器件的动态性能评价及其量值准确提出了更高的要求，由于高频标准角振动激励发生器以及精密动态角度测量仪的技术实现难题，尚未形成国家级角振动计量标准装置，严重限制了惯性器件动态性能评价水平的提升，为提高角振动量值准确性、解决其量值统一和溯源问题、并能提供标准角振动 ...

作者：文生明

学位名称：硕士

出处：北京理工大学光电学院 2014

关键词：共焦theta；显微成像；系统构建；测控软件

摘要：共焦显微技术以高空间分辨成像和独特的光学层析优势在细胞生物学、电子科学、材料学等领域有着重要的应用价值，但现有的单轴共焦显微镜分辨力、视场大小和工作距离三者难以兼顾。本课题研究的共焦theta显微技术将入射光轴和出射光轴成一定角度放置，分离照明光路和采集光路，继而实现了更高的轴向分辨力和更强的抗环境 ...