发明人：杨帅，汤亮，赵维谦，邱丽荣

申请日期：2022.06.17

摘要：本发明公开的双差动共焦球面曲率半径快速相对测量方法与装置，属于光学精密测量技术领域。本发明在同一批被测元件中挑选一个已知曲率半径R₀的元件作为样板S₀，并在其共焦位置处进行扫描以获得双差动共焦光强响应曲线及其线性段拟合方程；依次装卡被测件S_n

发明人：赵维谦，王允，邱丽荣

申请日期：2022.08.22

摘要：本发明属于光谱成像与探测技术领域，具体涉及柱面镜像差校正高分辨光谱探测方法与装置。本发明采用柱面镜结合球面会聚镜构建非对称式C‑T结构光栅光谱仪，利用柱面镜单向会聚的特点对光谱仪会聚光束的离轴像差进行校正，压缩聚焦光斑的横向尺寸，显著提升光谱探测分辨力；利用面阵探测器纵向累加对会聚光进行线阵积分探测 ...

发明人：赵维谦，张国卓，邱丽荣，崔晗

申请日期：2022.09.09

摘要：本发明涉及一种双二维MEMS微镜扫描的高灵敏共焦拉曼光谱快速测量方法及装置，属于显微光谱成像技术领域。该方法利用两片二维MEMS微镜实现光束横向扫描，省去了扫描透镜和管镜，并利用二向色分光系统实现反射光和拉曼散射光的无损分离，利用反射光构建共焦显微成像系统，实现样品几何形貌的快速高空间分辨探测；利用 ...

发明人：ZHAO, Weiqian;SHENG, Zhong;QIU, Lirong;WANG, Yun

申请日期：2015.02.13

摘要：A method and apparatus for measuring light-splitting pupil laser differential motion confocal Brillouin-Raman spectrums, which relates to the technica ...

发明人：ZHAO, WEIQIAN;CUI, HAN;QIU, LIRONG;WANG, YUN

申请日期：2013.08.08

摘要：The present invention belongs to a technical field of optical microscopic imaging and spectral measurement, and discloses a laser differential confoca ...

发明人：邱丽荣，朱晓雪，赵维谦，王文彬

申请日期：2022.08.22

摘要：本发明公开的法向跟踪后置分光瞳差动共焦自由曲面测量方法与装置，属于光学精密检测领域。本发明包括传感器测头、三维运动控制系统、计算机软件处理模块，采用纳米级驱动实现载物台和传感器测头的定位。传感器测头为后置分光瞳差动共焦传感器测头。本发明在优化激光差动共焦测量系统结构的前提下，将基于位置敏感探测器PS ...

作者：Rongji Li;|Angze Li;|Yunhao Su;|Lirong Qiu;|Weiqian Zhao （¹MIIT Key Laboratory of Complex-field Intelligent Exploration, School of Optics and Photonics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China）

出处：Optics and Lasers in Engineering 2023

关键词：Confocal Raman microscope;Fast axial focusing;In situ topography imaging and Raman mapping

摘要：Confocal Raman microscopy (CRM) is extensively employed in numerous fields because it provides molecular fingerprint information without destroying or ...

作者：庄雨晴，章广威，赵维谦，崔健，王允 （北京理工大学 光电学院 复杂环境智能感测技术工信部重点实验室）

出处：光学精密工程 2023

关键词：曲率半径；激光差动共焦；五维位姿监测；五维位姿调整；余弦误差

摘要：为提高球面透镜曲率半径的测量精度，提出基于五维位姿监测调整的差动共焦曲率半径高精度测量方法。通过驱动被测样品回转，在探测器上监测被测件的共焦点轨迹，测量被测件球心点与测量光轴之间的偏心误差，结合位姿调整系统对偏心误差进行自动补偿，确保测量过程中被测件球心与测量光轴重合，消除被测样品球心离轴引入的测量 ...

作者：章广威，崔健，邱丽荣，王允，赵维谦 （北京理工大学光电学院复杂环境智能感测技术工信部重点实验室）

出处：仪器仪表学报 2023

关键词：差动共焦；透镜中心偏；定焦技术；高精度

摘要：针对国内外透镜中心偏高精度测量的迫切需求，研制了一套激光差动共焦透镜中心偏测量系统。该系统从中心偏非接触测量的核心定焦原理入手，结合激光差动共焦定焦技术，解决了清晰度法定焦精度差的难题。在光学测量系统误差分析的基础上，对系统再次优化设计，并利用差动共焦轴向光强响应曲线过零点的位置与被测镜猫眼和共焦点 ...

作者：谭久彬^1,2,3,4,5;，刘世元^6,7,8;，赵维谦^9,10;，居冰峰¹¹; （¹中国工程院；²哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院；³国家计量战略专家咨询委员会；⁴中国仪器仪表学会；⁵中国计量测试学会；⁶华中科技大学集成电路测量装备研究中心；⁷湖北光谷实验室集成电路测量检测装备技术创新中心；⁸中国仪器仪表学会显微仪器分会；⁹北京理工大学光电学院；¹⁰北京理工大学信息学部；¹¹浙江大学机械工程学院）

出处：激光与光电子学进展 2023

摘要：超精密测量是指测量精度达到纳米量级的先进测量技术、系统与仪器，是现代科技发展与高端装备制造的基石，涉及物理、材料、光学、机械、电子、控制和算法等多个学科的深度交叉与融合。超精密测量主要以非接触的光学测量方式为主，其涉及干涉、衍射、光谱、偏振和散射等基础效应与测量原理，具有分辨力高、速度快、非破坏、易 ...