作者：何光，石庚辰 （北京理工大学）

出处：微计算机信息杂志 2006

关键词：MEMS弹簧；有限元方法；刚度特性

摘要：利用有限元分析软件ANSYS对镍质平面S型MEMS弹簧进行实体建模、静力学有限元计算分析,風到了各结构参数对刚度的影响规律,明确了其刚度特性.ANSYS仿真结果与镍质平面S型微弹簧的实际拉伸实验结果一致性很好,证明ANSYS软件对微弹簧力学性能的模拟较为准确.本文的分析方法对于其它类似的MEMS器件 ...

作者：贾云得，李科杰，石庚辰 （北京理工大学）

出处：北京理工大学学报 1993