发明人：姜澜，鲁意博，李欣，王素梅，王猛猛

申请日期：2024.05.07

摘要：本发明公开一种相位调制贝塞尔激光结合铬膜保护的石英切割方法，通过对入射高斯激光进行波前相位调制，抑制所生成贝塞尔激光旁瓣能量，减小其对材料的损伤；通过石英双面镀铬膜，保护表面免受刻蚀损伤，氟化氢铵溶液选择性刻蚀激光改性区域，刻蚀完成后溶解去除铬膜，实现高质量石英通槽成型。本发明兼顾传统湿法刻蚀工艺的 ...