发明人：姜澜，董希明，李晓炜，王猛猛，王素梅，张向宇，郭茂林

申请日期：2022.09.09

摘要：本发明涉及一种垂直偏振飞秒激光脉冲序列实现半球谐振子质量调平的方法，属于激光应用技术领域。本发明的目的是为了解决现有半球谐振子质量调平方法精度低，效率低的问题，提供一种垂直偏振飞秒激光脉冲序列实现半球谐振子质量调平的方法；该方法高精度体现在利用脉冲序列能有效减小烧蚀区域面积，同时本工作首先发现垂直偏 ...

发明人：姜澜，鲁意博，李欣，王猛猛，王素梅，陈博

申请日期：2022.11.01

摘要：本发明公开的一种基于倍频贝塞尔激光选择性刻蚀的石英振梁加工方法，属于飞秒激光应用技术领域。本发明在Z切α石英晶片双面镀金膜，利用光刻和等离子体刻蚀工艺在金膜上刻蚀出谐振器图案，作为刻蚀过程的保护层兼后续加速度计的表面电极；利用锥透镜将飞秒激光高斯光束在空间上整形成具有长焦深的贝塞尔光束，利用平凸透镜 ...

作者：Weihua Zhu¹;Mengmeng Wang^{1   2};Zheng Zhang¹;Jiaxin Sun¹;Jie Zhan¹;Mingle Guan¹;Zhao Xu¹;Sumei Wang^{1   2};Xin Li¹;Lan Jiang^{1   2   3}; （¹ Laser Micro/Nano Fabrication Laboratory, School of Mechanical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China. ² Yangtze Delta Region Academy of Beijing Institute of Technology, Jiaxing 314000, China. ³ Beijing Institute of Technology Chongqing Innovation Center, Chongqing 401120, China.）

出处：ACS applied materials & interfaces 2023

关键词：femtosecond laser;gold nanoparticles;multifunctional sensors;reduced graphene oxide;temporal-frequency shaping.

摘要：The mixture of graphene oxide and noble metal nanoparticles has been widely used in flexible multifunctional sensors. Femtosecond lasers are regarded ...

发明人：姜澜，张新闯，路畅，李欣，王猛猛，王素梅，王嘉文

申请日期：2023.08.28

摘要：本发明提供一种多视场反馈的整形激光三维硬脆结构加工方法及系统，所述系统包括时空整形模块、激光偏转模块、加工平台模块、柔性装夹模块、三维立体成像模块、气体吹吸模块。本发明利用三维建模软件对待加工样品进行特异性建模，并导出立体光刻文件(STL模型)和绘图交换文件(DXF模型)；使用制图软件对DXF模型编 ...

发明人：姜澜，王猛猛，王嘉文，李欣，王素梅，路畅

申请日期：2023.10.27

摘要：本发明适用于微纳加工技术领域，提供了一种真空环境下利用双波长平顶飞秒激光加三维振镜系统的加工方法，所述加工方法包括：基于不同材料对不同波长的激光吸收率不同，以及真空环境下利用平顶光加工的良好效果，产生的一种一体化加工DLC加TiN叠层膜样品的方法。总体加工思路为：运用飞秒激光整形器件将高斯光变为平顶 ...

作者：Yongjiu Yuan^{1   2   3   4   5};Junhao Huang^{1   2   3};Xin Li^{1   2   3};Lan Jiang^{1   2   3};Tong Li^{4   5};Pengcheng Sun⁴;Yingying Yin⁴;Sumei Wang^{1   2   3};Qian Cheng^{1   2   3};Wanghuai Xu^{4   5};Liangti Qu⁶;Steven Wang⁴; （¹ Laser Micro/Nano-Fabrication Laboratory, School of Mechanical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing, 10081, China. ² Yangtze Delta Region Academy of Beijing Institute of Technology, Jiaxing, 314000, China. ³ Beijing Institute of Technology Chongqing Innovation Center, Chongqing, 401120, China. ⁴ Department of Mechanical Engineering, City University of Hong Kong, Hong Kong, 999077, China. ⁵ Department of Mechanical Engineering, The Hong Kong Polytechnic University, Hong Kong, 999077, China. ⁶ MOE Key Laboratory of Bioorganic Phosphorus Chemistry & Chemical Biology, Department of Chemistry, Tsinghua University, Beijing, 100084, China.）

出处：Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.) 2024

关键词：graphene;laser;photochemical synthesis;supercapacitors.

摘要：Micro-supercapacitors (MSCs) represent a pressing requirement for powering the forthcoming generation of micro-electronic devices. The simultaneous re ...

作者：Yuyin Wei，Furi Gao，Sumei Wang （Laser Micro Fabrication Laboratory School of Mechanical Engineering，Beijing Institute of Technology，Beijing 100081，P.R.China）

出处：2020年计算机、网络、通信和信息系统国际会议 2020

关键词：SERS sensor；femtosecond laser；double-pulse fabrication

摘要：Fiber Tips with different roughness are fabricated and deposited with silver nanoparticles for SERS detection.Firstly,femtosecond laser double pulses ...

发明人：姜澜，詹洁，王素梅，连易灵

申请日期：2024.04.09

摘要：本发明公开了一种去中心化协同的超快成像控制系统及方法，属于超快激光观测技术领域，系统包括：运动控制模块，用于放置待成像样品，并调节待成像样品至聚焦位置；成像模块，用于采集待成像样品超快成像过程中的变化图像；控制器模块，分别与运动控制模块和成像模块连接，实现超快成像过程的集成控制。本发明能够根据实验需 ...

发明人：姜澜，鲁意博，李欣，王素梅，王猛猛

申请日期：2024.05.07

摘要：本发明公开一种相位调制贝塞尔激光结合铬膜保护的石英切割方法，通过对入射高斯激光进行波前相位调制，抑制所生成贝塞尔激光旁瓣能量，减小其对材料的损伤；通过石英双面镀铬膜，保护表面免受刻蚀损伤，氟化氢铵溶液选择性刻蚀激光改性区域，刻蚀完成后溶解去除铬膜，实现高质量石英通槽成型。本发明兼顾传统湿法刻蚀工艺的 ...

作者：闫剑锋¹;，郭恒¹;，赵宇智¹;，王素梅²;，曲良体³; （¹清华大学机械工程系,高端装备界面科学与技术全国重点实验室；²北京理工大学机械与车辆学院；³清华大学化学系）

出处：中国激光 2024

关键词：微纳加工；超级电容器；储能器件；超快激光

摘要：超级电容器是一类新型储能器件，具有比电容量高、瞬时功率密度大、循环稳定性好等优势。微型超级电容器具有小型化、集成度高的特点，在微电子、柔性电子、移动设备等领域有着广阔的应用前景。目前，已有多种技术能够实现超级电容器的制造，其中激光加工技术以其非接触、无掩模、无需特殊环境等优势而备受关注。作为激光加工 ...